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协作机器人跟晶圆加工设备对接,做MES整厂自动化晶圆搬运解决方案,全自主知识产权上位机调度系统及规划
一台设备对接5台晶圆加工设备上下料,效率较人工作业提升68%,全自动化黑灯工厂,自主可控,多台设备自主调度,24小时作业;
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